東莞無(wú)塵車(chē)間對塵埃粒子進(jìn)行試驗

空氣中顆粒物污染是許多行業(yè)生產(chǎn)及加工工藝中主要的污染來(lái)源，準確評價(jià)東莞無(wú)塵車(chē)間空氣凈化已經(jīng)成為許多行業(yè)生產(chǎn)以及產(chǎn)品檢測的要求。好比在電子行業(yè)及芯片制造工業(yè)中，氣體中微小顆粒物的沉積就會(huì )造成電氣不良特性甚至更大的破壞。特別是近年來(lái)芯片線(xiàn)寬已經(jīng)達到微米和亞微米級，這就對東莞無(wú)塵車(chē)間的空氣凈化提出了更高的要求。另外，在現代醫學(xué)與藥物及生物工程中，包括中國在內的世界各國制定實(shí)施的“藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規范GMP”中也著(zhù)重對藥品生產(chǎn)過(guò)程中空氣中的顆粒物潔凈度提出了要求。特別是隨著(zhù)《國家中長(cháng)期科學(xué)和技術(shù)發(fā)展規劃綱要》的貫徹執行，作為16個(gè)重大發(fā)展專(zhuān)項的核心電子器件、高端通用芯片、重大新藥創(chuàng )制將會(huì )得到快速發(fā)展，這就使得顆粒計數測量和監測變得更加迫切。

　　據估計，中國現有的塵埃粒子計數器生產(chǎn)廠(chǎng)家有10余家東莞無(wú)塵車(chē)間，國內使用的臺件數量應不少于3萬(wàn)臺，這些廠(chǎng)家及用戶(hù)具有很強烈的校準檢測需求。要保證空氣中塵埃顆粒測量的準確性，首先需要確保塵埃粒子計數器本身的準確和可溯源。中國計量院完成的這項研究，建立了標準粒子計數器校準裝置，實(shí)現了對標準粒子計數器的粒子計數示值誤差、粒徑檔設定相對誤差、粒徑測量分辨力校準項目的檢定和校準，不確定度為6.0%(k=2)，優(yōu)于國外相同計量校準裝置的技術(shù)水平。同時(shí)，他們還建立了工作級粒子計數器校準裝置，實(shí)現對工作級(實(shí)驗室用、便攜式)粒子計數器粒子計數示值誤差的有效校準。

　　在研究中，我們通過(guò)采用國際先進(jìn)的‘激光粒子計數器——凝結核粒子計數器——氣溶膠靜電計(或掃描電子顯微鏡)’逐級溯源法，使標準粒子計數器的粒子計數值溯源至國家電流標準和傳統的顯微計數法，保證了粒子計數的溯源性和準確性。