無(wú)塵車(chē)間工程：對于過(guò)濾器檢的測試

無(wú)塵車(chē)間工程設施過(guò)濾器系統檢漏這項測試旨在驗證設施不存在旁路泄漏，過(guò)濾器不存在缺陷（過(guò)濾器介質(zhì)和密封框架上的小眼及其他損傷）與泄漏（過(guò)濾器框架和密封墊圈上的旁路泄漏，過(guò)濾器安裝架的泄漏），從而確認終端高效過(guò)濾器安裝良好。

無(wú)塵車(chē)間工程程測試是這樣進(jìn)行的：在過(guò)濾器上風(fēng)向引入測試氣溶膠，并立即在過(guò)濾器的下風(fēng)向對過(guò)濾器、其支撐架進(jìn)行掃描，或在下風(fēng)向的風(fēng)管中采樣。B．6中給出了2種不同的檢漏方法。氣流目檢這項測試的目的旨在確定設施內氣流的平穩度、氣流模式及氣流在空間與時(shí)間上的其他特性。測試程序見(jiàn)B.7。風(fēng)向測試這項測試，旨在檢驗整個(gè)單向流潔凈區的風(fēng)向。測試程序見(jiàn)B.8?！?.2.7溫度與濕度均勻性測試這項測試旨在證明潔凈室空氣處理系統在所測區域內、在客戶(hù)規定的時(shí)間段里將空氣的溫度和濕度（以相對濕度或露點(diǎn)表示）控制在限值以?xún)鹊哪芰?。這些測試的程序見(jiàn)B.9與B．lo。

靜電和離子發(fā)生器測試這些測試旨在檢定物體上的靜電電壓、材料的防靜電性，在設施中進(jìn)行靜電控制所使用的離子發(fā)生器（即電離器）的性能。靜電測試旨在檢定工作表面和產(chǎn)品表面的靜電電壓，地板、工作臺頂部的防靜電性能等。離子發(fā)生器瀏試旨在檢定離子發(fā)生器對表面靜電的清除性能。測試程序。