無(wú)塵潔凈室能耗成本分析：

  　“據不完全統計，潔凈室的能耗是一般寫(xiě)字樓的10倍-30倍。我國的8英寸集成電路芯片制造廠(chǎng)，其潔凈室單位面積能耗達到1.48千瓦/平方米～1.93千瓦/平方米，比美國同類(lèi)型工廠(chǎng)高15%?！鄙虾Ｊ惺覂拳h(huán)境凈化協(xié)會(huì )秘書(shū)長(cháng)王芳告訴《中國電子報》記者，“以上海某知名芯片廠(chǎng)為例，其全年耗電量的51%用于潔凈室運行維護。如果能將這51%的能耗合理降低，對企業(yè)來(lái)說(shuō)就意味著(zhù)利潤的增長(cháng)?！?br /> 　　不僅如此，潔凈室的建造費用也十分驚人?！峨娮庸I(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范》主要起草人之一秦學(xué)禮在接受《中國電子報》記者采訪(fǎng)時(shí)表示，ISO6級(相當于美國標準FS2091000級)潔凈室單位面積建造成本約為3000元/平方米～4000元/平方米，而ISO4級(相當于美國標準FS20910級)潔凈室單位面積建造成本則高達1萬(wàn)元/平方米。
     由于潔凈室建設費用很高且不同潔凈等級的建設費用相差較大，因此，在潔凈室設計過(guò)程中，設計師不僅需要合理布置工藝設備以盡量減少潔凈區的面積，而且也要針對不同的生產(chǎn)環(huán)節設置不同的潔凈等級。目前，12英寸集成電路芯片制造工廠(chǎng)普遍采用“開(kāi)放式潔凈室加微環(huán)境”的方式，將芯片制造過(guò)程中對空氣潔凈度要求十分嚴格的硅片加工過(guò)程布置在1級-4級的微環(huán)境裝置內，而開(kāi)放式潔凈室的潔凈度等級只需5級-6級，這樣就有效地降低了建設/運營(yíng)投資以及能耗。

      在我國，潔凈廠(chǎng)房的能源消耗是相當大的。能源消耗主要用于生產(chǎn)設備用電和用熱、凈化空調系統的耗電/耗熱和冷負荷、冷凍機組的耗電、排氣裝置的耗電和耗熱、超純水和氣體的制取和輸送以及公用設施和照明的用電等。為達到潔凈室要求的空氣潔凈度等級，潔凈室的循環(huán)風(fēng)量很大。一般空調房間的每小時(shí)換氣次數只需要幾次，而潔凈室每小時(shí)換氣次數達到10次～600次。由于技術(shù)的原因，我國的潔凈室在能耗方面又高于歐美發(fā)達國家。

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