1、十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是無(wú)塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無(wú)塵室工作區的平均氣流通度及其均勻性。

2、系統或房間的風(fēng)量檢測。

3、十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。

4、自?xún)魰r(shí)間的檢測。通過(guò)確定自?xún)魰r(shí)間，查明潔凈室內部發(fā)生污染時(shí)恢復其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測。

6、噪聲的檢測。

7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8、振動(dòng)的檢測。振動(dòng)檢測的目的是為了判明無(wú)塵室各表明的振動(dòng)幅度。

9、十萬(wàn)級無(wú)塵車(chē)間溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測無(wú)塵室的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度，檢測無(wú)塵室中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風(fēng)溫度。

10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。