東莞無(wú)塵車(chē)間特性:
(l)耐久性;
(2)成本;
(3)適應性;
(4)可維護性;
(5)清洗。
(1)耐久性:
東莞無(wú)塵車(chē)間要有符合環(huán)境、東莞無(wú)塵車(chē)間內部的清洗溶液及振動(dòng)、設備、空氣過(guò)濾系統的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴(lài)無(wú)塵室等級來(lái)建造。半導體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。
(2)清洗:在制藥和生物工學(xué)工業(yè),
東莞無(wú)塵車(chē)間的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過(guò)性病毒或細菌的污染之特性。在biotech市場(chǎng),清洗真正地是一個(gè)最重要的企業(yè)。
(3)成本:微電子C/R建設費可能花費到億。fab能更快的被建造起來(lái),產(chǎn)品也就能更快達到這市場(chǎng)。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而"錢(qián)"將成為一個(gè)很重要的考慮因素。
(4)適應性:一些廠(chǎng)商認為適應性可節省一筆金錢(qián),而適應性意指系統可任意移動(dòng)或改變而不會(huì )招致極大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將最初的設計定型。
(5)維護性:對東莞無(wú)塵車(chē)間而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。